构成真空玻璃的各种材料，如玻璃、不锈钢、吸气剂、玻璃焊料在空气中放置时，材料表面都会吸收和溶解一定量的气体。这些气体是真空玻璃封离后真空层内材料放气的来源。真空玻璃属于大表面积小体积的真空器件，1㎡的真空玻璃，其内腔体积仅相当于一个乒乓球的大小，因此，放出的气体对真空玻璃中间层真空度的影响很大。常温排气封离的真空玻璃，其真空度将在几小时内迅速衰减。真空玻璃的排气过程，不仅仅是将中间层的气体充分排出，还需要将玻璃整体加热到一定温度，进行烘烤排气，使吸附在材料表面和溶解在材料内部的气体释放到中间层并排出。

由于玻璃是构成真空玻璃的主要材料，因此排气温度的设计首先应考虑玻璃材料的排气要求。玻璃在烘烤加热时的气源主要来自表面、表层和内部三个方面。

1、玻璃表面

玻璃表面存在大量OH-，对水的亲和力很强，因此玻璃表面吸附力大量的水分子和少量CO²， 部分气体与玻璃表面是物理吸附和弱化学吸附，结合不牢，在真空中加热到150℃左右时，几分钟内就可以使气体分子从玻璃表面解吸。

2、风化表层

真空玻璃所使用的钠钙玻璃，其中含有较多的碱性氧化物，化学稳定性差，易受水汽侵蚀，容易风化。风化层厚度一般为几微米，所含气体主要是H²O，玻璃在真空中加热到一定温度时，水可从Si-OH-OH-Si结构中平稳脱出，形成Si-O-Si+H₂O，并使玻璃的风化层复原。去除玻璃表层内气体需要在真空状态加热1h左右，也可在湿度小于60%的干燥空气中加热1h左右除去风化层，其效果与真空除气相当。

3、玻璃体内

玻璃体内含有大量的气体，主要是H₂O及少量的CO²、O²和SO²，这种气体需要通过较长时间的烘烤排除。

当完成除气后，如果玻璃的工作温度不超过300℃，则体内放气对器件的真空度几乎没有影响，可以不考虑。